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2021-07-23

微機(jī)電系統(tǒng)工程以機(jī)、電技術(shù)，尤其是微機(jī)械為基礎(chǔ)，運(yùn)用微電子技術(shù)和微加工技術(shù)，進(jìn)行微納米和微機(jī)電系統(tǒng)內(nèi)的一系列微型器件的設(shè)計(jì)、創(chuàng)造及