大家好,小生來(lái)為大家講解下。流量單位中sccm是什么意思,流量單位中SCCM是什么很多人還不知道,現(xiàn)在讓我們一起來(lái)看看吧!
1、SCCM是質(zhì)量流量單位,代表每分鐘的標(biāo)準(zhǔn)毫升數(shù),與常用的流量單位不同。
2、常見(jiàn)的流量單位如升/秒表示單位時(shí)間內(nèi)流動(dòng)的體積,而質(zhì)量流量表示單位時(shí)間內(nèi)氣體通過(guò)的摩爾數(shù)。
3、該單元通常用于化學(xué)反應(yīng),如CVD等需要精確控制原子組成比例的場(chǎng)合。
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